dépôt physique en phase vapeur

Étymologie

modifier
Locution composée de dépôt, physique, en et phase vapeur.

Locution nominale

modifier
Singulier Pluriel
dépôt physique en phase vapeur dépôts physiques en phase vapeur
\de.po fi.zik ɑ̃ faz va.pœʁ\

dépôt physique en phase vapeur \de.po fi.zik ɑ̃ faz va.pœʁ\ masculin

  1. (Physique, Technique, Industrie) Dépôt en phase vapeur par des processus physiques.
    • Il est possible de revêtir les métaux et certains polymères de couches minces de nitrure de titane principalement par dépôt physique en phase vapeur (PVD), par exemple par pulvérisation cathodique. — (nitrure de titane)
    • De la même façon que pour l’évaporation, diverses modifications apportées à la pulvérisation cathodique donnent lieu à divers procédés d’élaboration (figure I.11). Ainsi, les techniques de dépôt physique en phase vapeur sont devenues très nombreuses… L’obtention de couches présentant la phase quadratique de nitrure de titane, ε-TiN, a été rapportée dans plusieurs travaux [33,55-57]. Cette phase est généralement obtenue à une basse pression partielle d’azote et à une température du substrat supérieure à 450 °C par des techniques de dépôt physique en phase vapeur. — (Arturo Javier Montes de Oca - Valero, Élaboration du carbure et du nitrure de titane par des procédés chimiques et physiques en phase vapeur : caractérisation de la microstructure : Thèse de doctorat, Université Sciences et Technologies - Bordeaux I, Bordeaux, 5 novembre 2002)

Synonymes

modifier

Vocabulaire apparenté par le sens

modifier

Hyperonymes

modifier

Hyponymes

modifier

Traductions

modifier

Voir aussi

modifier

Références

modifier