dépôt physique en phase vapeur
Français modifier
Étymologie modifier
- Locution composée de dépôt, physique, en et phase vapeur.
Locution nominale modifier
| Singulier | Pluriel |
|---|---|
| dépôt physique en phase vapeur | dépôts physiques en phase vapeur |
| \de.po fi.zik ɑ̃ faz va.pœʁ\ | |
dépôt physique en phase vapeur \de.po fi.zik ɑ̃ faz va.pœʁ\ masculin
- (Physique, Technique, Industrie) Dépôt en phase vapeur par des processus physiques.
Il est possible de revêtir les métaux et certains polymères de couches minces de nitrure de titane principalement par dépôt physique en phase vapeur (PVD), par exemple par pulvérisation cathodique.
— (nitrure de titane)De la même façon que pour l’évaporation, diverses modifications apportées à la pulvérisation cathodique donnent lieu à divers procédés d’élaboration (figure I.11). Ainsi, les techniques de dépôt physique en phase vapeur sont devenues très nombreuses… L’obtention de couches présentant la phase quadratique de nitrure de titane, ε-TiN, a été rapportée dans plusieurs travaux [33,55-57]. Cette phase est généralement obtenue à une basse pression partielle d’azote et à une température du substrat supérieure à 450 °C par des techniques de dépôt physique en phase vapeur.
— (Arturo Javier Montes de Oca - Valero, Élaboration du carbure et du nitrure de titane par des procédés chimiques et physiques en phase vapeur : caractérisation de la microstructure : Thèse de doctorat, Université Sciences et Technologies - Bordeaux I, Bordeaux, 5 novembre 2002)
Synonymes modifier
Vocabulaire apparenté par le sens modifier
- couche mince
- dépôt chimique en phase vapeur (par des processus chimiques)
Hyperonymes modifier
Hyponymes modifier
- dépôt par arc cathodique ou dépôt par arc électrique
- évaporation sous vide ou dépôt par évaporation
- pulvérisation cathodique
- pulvérisation par faisceau d’ions ou pulvérisation par faisceau ionique
- sublimation sous vide
Traductions modifier
- Allemand : physikalische Gasphasenabscheidung (de) féminin, physikalische Dampfphasenabscheidung (de) féminin
- Anglais : physical vapor deposition (en), physical vapour deposition (en), PVD (en)
Voir aussi modifier
- dépôt physique en phase vapeur sur l’encyclopédie Wikipédia
Références modifier
- Le Grand Dictionnaire terminologique, Office québécois de la langue française (dépôt physique en phase vapeur)
- Bureau de la traduction du gouvernement du Canada, TERMIUM Plus, 1976-, en ligne → consulter cet ouvrage