dépôt en phase vapeur
Français modifier
Étymologie modifier
- Locution composée de dépôt, en et phase vapeur.
Locution nominale modifier
| Singulier | Pluriel |
|---|---|
| dépôt en phase vapeur | dépôts en phase vapeur |
| \de.po ɑ̃ faz va.pœʁ\ | |
dépôt en phase vapeur \de.po ɑ̃ faz va.pœʁ\ masculin
- (Technique, Industrie) Dépôt, revêtement, généralement en couche mince, par déposition d’atomes ou de molécules à partir de la phase vapeur.
Chacun de ces matériaux doit être mis en œuvre selon des techniques adaptées, afin d'en obtenir les propriétés recherchées. Ainsi les métaux peuvent être déposés par des procédés de pulvérisation ou de craquage en phase vapeur ou par électrochimie (cas du cuivre), les oxydes de silicium seront créés par oxydation du silicium qui constitue les wafers ou par dépôt en phase vapeur, etc.
— (photolithographie)
Synonymes modifier
(Moins courants)
Vocabulaire apparenté par le sens modifier
Notes modifier
- On distingue classiquement deux catégories de procédés (certains se situent entre deux) :
- Bien que les termes dépôt en phase vapeur et dépôt sous vide se recoupent très largement, ils ne sont pas strictement synonymes :
- l’évaporation sous vide, par exemple, se déroule en général dans un haut vide, en régime moléculaire, où l’on ne peut plus vraiment parler stricto sensu de phase vapeur – d’où aussi l’appellation dépôt par phase vapeur ;
- à l’inverse, certains procédés de dépôt chimique en phase vapeur sont réalisés sous pression ambiante.
- Certains procédés déposent, outre des atomes ou des molécules, aussi des particules sous forme solide ou liquide (gouttelettes).
Hyperonymes modifier
Hyponymes modifier
- Catégories
- Techniques
→ voir dépôt sous vide
Traductions modifier
- Allemand : Gasphasenabscheidung (de) féminin
- Anglais : vapor deposition (en), vapour deposition (en)
Références modifier
- Le Grand Dictionnaire terminologique, Office québécois de la langue française (dépôt en phase vapeur)
- Bureau de la traduction du gouvernement du Canada, TERMIUM Plus, 1976-, en ligne → consulter cet ouvrage